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Ballandras, S., Hauden, D. (1994) Applications aux microtechniques de la photolithographie profonde par UV et par rayonnement synchrotron. Annales de Physique, 19. doi:10.1051/anphys/1994022

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Reference TypeJournal (article/letter/editorial)
TitleApplications aux microtechniques de la photolithographie profonde par UV et par rayonnement synchrotron
JournalAnnales de Physique
AuthorsBallandras, S.Author
Hauden, D.Author
Year1994 (October)Volume19
PublisherEDP Sciences
DOIdoi:10.1051/anphys/1994022Search in ResearchGate
Generate Citation Formats
Mindat Ref. ID14272354Long-form Identifiermindat:1:5:14272354:0
GUID0
Full ReferenceBallandras, S., Hauden, D. (1994) Applications aux microtechniques de la photolithographie profonde par UV et par rayonnement synchrotron. Annales de Physique, 19. doi:10.1051/anphys/1994022
Plain TextBallandras, S., Hauden, D. (1994) Applications aux microtechniques de la photolithographie profonde par UV et par rayonnement synchrotron. Annales de Physique, 19. doi:10.1051/anphys/1994022
In(1994) Annales de Physique Vol. 19. EDP Sciences

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